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Si+Glass一体基板

  • 产品型号:
  • 产品品牌:TECNISCO
  • 应用领域:

泰库尼思科电子(苏州)有限公司

中国 江苏省 苏州市

产品详情 产品规格书下载

概要


  • 可使硅与玻璃在同一平面、玻璃可在光学面进行精加工、透光率与原材料相同
  • 可做为绝缘体、导体、遮光体功能使用

产品基本式样

Si+Glass一体基板
Si+Glass一体基板
玻璃材质TEMPAX
晶圆尺寸~200mm
晶圆厚度0.3~2.0mm
平面度< 0.1mm(8inch)
TTV< 0.01mm
原材料间高度差< 0.1um


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