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上海微技术工业研究院/上海新微技术研发中心有限公司
中国 上海市 上海城区
上海工研院硅光工艺平台具备90nm高精度光刻、晶体外延、介质薄膜生长、干法及湿法刻蚀、掺杂、金属互连和在线工艺检测等成套关键工艺能力,并针对不同应用场景,实现了220nm薄硅SOI、1.5~3μm厚硅SOI、SiN等多套集成工艺开发。2023年平台发布了基于90nm工艺节点的 SOI PDK,核心器件库性能达到国际主流水平。平台提供光收发、光传感等多种类型硅光芯片的研发和小批量流片服务。