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硅光平台

  • 产品型号:产品根据客户需求而定
  • 产品品牌:SITRI
  • 应用领域:医疗设备,可穿戴设备,养老设施,海洋装备,石油化工,电力,轻工业,特种工业,设备制造,城际轨交/地铁,仪器仪表和测量,自动化控制, 半导体 ,仓储场景,核电能源,冶金钢铁,暖通空调,工程机械,移动通信,交通路政,物联网,智能手机,智慧家居,燃油汽车,工业机器人,水利水运,新能源(风能、光伏、氢能、地热能等),商用建筑,人员管理,室内环境检测与监测,照明管理,能耗管理,保健,娱乐设备,个人电脑,服务机器人,教育机器人,康复类机器人,新能源汽车,高铁,航空,制冷,家用电器,食品/饮料/制药,运输场景,零售端场景,畜牧,养殖,暖棚,农机设备,船舶,太空和航天,石油天然气,燃料电池,能源安全与检测,能源输送,室外环境检测与监测,安防与监控,勘探/监测,水/污水处理,工业环境检测,地下管廊,智慧水务,给排水,城市内涝管理

上海微技术工业研究院/上海新微技术研发中心有限公司

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上海工研院硅光平台聚焦硅光关键工艺与集成技术的开发,支持光收发、光计算、光传感等多种硅光功能芯片的前沿研究,产品预研和小批量生产流片。工研院硅光平台拥有近5000平米洁净室,具备90nm高精度光刻,晶体外延、介质薄膜生长、干法及湿法刻蚀、掺杂、金属互连和在线工艺检测等成套关键工艺能力,并针对不同应用场景,实现了220nm SOI1.5~3um SOISiN等多套集成工艺开发。2021年平台发布了基于0.18um工艺节点的220nm SOI PDK2.0,核心器件库性能达到国际主流水平。


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