陶瓷电容式压力敏感元件是以氧化铝陶瓷 (Al2O3 )为基础材料,结构上由较厚的陶瓷基体、较薄可形变的陶瓷弹性膜片以及印刷在陶 瓷上的金属电极构成,其原理是当陶瓷膜片承受压力发生形变时引起电容变化,后端再将电 容变化通过信号处理再将压力信号转换成线 性模拟电压信号或数字输出。
陶瓷电容式压力敏感元件作为压力传感器 中一种主要技术路线,具有抗腐蚀、抗磨损、 抗冲击、温漂极小、测量精度高、量程范围大、 无污染、高弹性、耐过载、寿命长等众多优点, 可以和绝大多数腐蚀性气体或液体介质直接 接触,且陶瓷电容压力传感器工作过程中没有 液体的传递,过程压力直接作用在陶瓷膜片 上,过载时,膜片触碰到基体上而不会损坏, 当压力恢复正常时,其性能不会受到任何影 响,因此被广泛应用于汽车、工业、物联网等 领域。
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系列名称 | D21A/D18A |
类型 | Capacitive |
测试压力类型 | Gauge /absolute/ sealed gauge |
尺寸(直径x高度) | 21x4.(**)mm/18x3.(**)mm (height customizable) |
工作温度 | ‘-40 ℃~150℃ |
储存温度 | ’-40℃~150 ℃ |
温度特性 | 0.5~1.0Mpa : <±0.015 %FS/℃ ; ≥ 1.0Mpa : ≤ ± 0.010%FS/℃ |
非线性度 | ±0.20% FS |
迟滞&重复性 | 6.0%~9.0% first- order approximation ≤ 0.5% second-order approximation ≤0.2 third -order approximation |
灵敏度计算公式 | = Full-scale capacitance value - Zero-pressure capacitance value |
响应时间 | < 2mS |
工作寿命 | >5 million pressure cycles |