LQBP001TA是路溱研发的一款高精度电容式压力传感器,该MEMS电容式压力传感器创新地采用读取电容变化值的数据测量方式以及差分式电容结构设计。区别于传统的电阻式读取方式,电容式压力传感器不但可以获得更高的性能和测量精度同时也可降低功耗节约成本。LQBP001TA具有独创性的敏感膜阵列设计,此创新既可提高传感器灵敏度,又可改善结构的粘连可靠性,大大降低了微机械应力对传感器的影响。电容式MEMS压力传感器具有灵敏度高(薄膜较薄)、温度影响小(电容不受温度影响)、噪声低(电容的噪声小)等优点,非常适合于高性能应用。路溱所生产的MEMS传感器芯片已经广泛应用于智能手机、智能可穿戴、无人机、智能家电、物联网等领域。
主要参数:
▪ 检测原理:电容式
▪ 尺寸:2.5 × 2.0 × 0.95 mm3
▪ 工作范围:压力:300 – 1200 hPa; 温度:-40 – 85 ͦC
▪ 压力传感器精确度(噪声):±0.3 Pa (± 3 cm)
▪ 压力传感器相对精度:±3 Pa (±30 cm)
▪ 压力传感器绝对精度:±1 hPa (±8 m)
▪ 内置的温度传感器精度:±0.5 ͦC
▪ 压力的温度敏感系数(TCO):<0.5 Pa/K