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半导体微纳加工平台

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广东中科半导体微纳制造技术研究院

中国 广东省 佛山市

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半导体微纳加工中试平台是集微纳制造技术工程化开发、公共服务、产业化为一体的多功能公共服务平台，建设超净实验室1.4万平方米，建有8英寸硅晶圆及8英寸（向下兼容）氮化镓（GaN）晶圆加工线。针对光电子器件、功率器件MEMS器件、微显示类芯片等多种半导体分立器件，提供专业的中试流片、委托加工、产线共建、技术咨询等服务。

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