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MEMS传感器

  • 产品型号:
  • 产品品牌:六维科技
  • 应用领域:

安徽六维传感器科技有限公司

中国 江苏省 南京市

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MEMS气体传感器

一、产品概述

相对于传统制作方法,我司采用 MEMS 工艺,实现尺寸小、功耗低、灵敏度高、抗干扰能力强、响应恢复快、驱动电路简单、稳定性好、寿命长、结构坚固、抗震性好等优点

二、性能参数

 

三、应用场景

1. 家庭、工厂、商业场所的空气质量可燃气体和有毒有害气体泄漏监测装置,防火/安全探测系统。

2.可燃气体泄漏报警器、智能燃气表、燃气集成灶、抽油烟机等。

四、标准测试电路(以甲烷为例)

 

标准电路条件

回路电压 

VC 

≤ 5V DC

加热电压

VH 

1.8V ± 0.05 V  AC or DC

负载电阻

RL

可调(以出货报告为准)

标准测试条件下气敏元件特性

加热电阻

RH 

45 Ω ± 5 Ω (室温)

加热功耗

PH 

≤ 30 mW

敏感体电阻

RS 

5 KΩ 300 KΩ (in air)

灵敏度

S

R0 (in air) / Rs (in 2000 ppm CH4) ≥ 5

标准测试条件

温度、湿度

20 ℃ ± 2 ℃

55% ± 5% RH

测试电路

VC:5 V ± 0.1 V
VH :1.8 V ± 0.1V

热时间

不少于 3 分钟

响应时间(T90

< 15s

恢复时间(T90

< 30s

寿命

≥3

五、结构图

                                MEMS传感器结构引脚定义示意图

 

 

 

 

 


引脚定义:


Pin1:检测    Pin3:检测

Pin2:加热    Pin4:加热

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