苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司MEMS中试量产平台是由苏州纳米科技发展有限公司与中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所共同策划筹建，是国内首个商业化运作的6英寸纯MEMS器件研发、中试和批量化生产基地，在MEMS工艺集成创新和工程化方面成果显著，具有卓越的组织管理能力。

苏州纳米现有3000平方米6英寸高标准洁净厂房，总计超过170台MEMS专用加工设备，累计投入超过5亿元人民币。主要开展MEMS产品工艺研发、微纳加工制造、封装测试、设备租赁、超净场地租赁、工艺技术培训、专利运营等多项专业服务。自2014年8月产品通线至2020年底，导入客户约100家，累计支撑客户完成近300种器件开发，涉及硅麦克风、硅压阻压力传感器、MEMS微镜、喷墨打印头、RF MEMS开关、热电堆温度传感器、气体传感器、流量传感器、非制冷红外等项目，实现年产超万片6寸晶圆等一系列辉煌成绩，公司营收状况逐年快速增长，已成为国内MEMS代工的中坚力量。

  苏州纳米以支撑中国MEMS产业发展为主要使命。自2013年成立以来，支持了超过100家来自于全国的MEMS中小型初创企业的MEMS器件开发及小批量量产，大大缓解了国内MEMS产业链在MEMS晶圆制造环节的短板。经过5年的发展，苏州纳米已经成长为国内工艺能力最全，承担客户及MEMS项目最多，对国内MEMS产业的发展贡献最大的MEMS代工厂。

公司自身创新能力不断提升，已累计申请专利超过60项，获授权发明专利17项。公司业务已辐射到全国各地并保持高速增长，服务定位和品质获得高度认可。公司持续不断投入研发，提高自身能力，为缩小中国MEMS技术与国外先进技术之间的差距，最终实现与国外先进技术并跑，甚至领跑贡献自己的力量。