MEMS中试平台位于苏州纳米城，是国内首个商业化运作的6英寸MEMS器件研发、中试和批量化生产平台。平台开展包括硅基MEMS以及铌酸锂、PZT等新材料产品的工艺研发、中试、量产服务。平台拥有超净实验室3000平方米，设备200余台套，形成了年产60000晶圆的批量生产能力。 经过多年在MEMS领域的耕耘，苏州纳米城MEMS中试平台打造了一支完整的高水平微纳加工技术团队，具备完整的工艺库及各种器件工艺匹配能力，产品类别包括硅麦克风、压力传感器、微镜、喷墨头、流量传感器、气体传感器、温度传感器、热电堆、滤波器、光通讯器件、生物芯片等，业务覆盖西北、华北、华东、西南、华南等地，目前已服务120多家企业、400多颗产品，对中国MEMS的创新及发展产生了重大的支撑及促进作用。