MEMS 压阻式压力传感器代工厂

发布时间
2026-08-24 11:18:11
联系人
Visitor002693
求购编号
713
商品分类
  • 医疗设备
求购数量
1
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有效期至
2027-01-31
需求信息
加工一款MEMS压阻式压力传感器,器件总厚度100um,材料采用SOI晶圆(10+1+300 um)制备,硅衬底,顶层硅感压膜,电极金属铝,感压膜边缘中心为离子注入制作的4个压敏电阻;这个器件为晶圆(减薄至厚度50um)和玻璃(减薄至厚度50um)键合,总厚度100um。
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